Shenzhen Coastal Trading Co.,Ltd.
品牌：Pyrometer
型號：Optitherm III
采購熱線：0755-86216601
13714972229
美國Pyrometer公司供應(yīng)發(fā)射率測量紅外溫度計Optitherm III
OptithermIII紅外溫度計溫度測量系統(tǒng)使用光纖和新的脈沖激光紅外技術(shù)，在CVD、MBE、MOCVD或?yàn)R射應(yīng)用中的原位外延生長過程中測量單個或多個晶片的溫度。當(dāng)所有無源紅外溫度計測量目標(biāo)輻射溫度時，Optitherm可動態(tài)確定鏡面目標(biāo)的發(fā)射率值，從而使晶圓溫度測量精度達(dá)到±3°C，用于溫度控制。
Optitherm采用主動反射計技術(shù)來確定目標(biāo)發(fā)射率（E%）和真實(shí)溫度（Te）。這是通過在與紅外輻射溫度測量相同的時間、位置和波長自動測量目標(biāo)鏡面反射率來實(shí)現(xiàn)的，以確定真實(shí)的晶片溫度。微處理器以極快的1ms數(shù)據(jù)采集速率收集這些值，并將數(shù)據(jù)傳輸?shù)街鳈C(jī)PC，用于溫度計算、數(shù)據(jù)記錄和即時過程溫度控制。
Optitherm紅外技術(shù)可應(yīng)用于各種現(xiàn)場半導(dǎo)體應(yīng)用中，包括生產(chǎn)工具、晶圓加工、精確溫度測量至關(guān)重要的研發(fā)。Optitherm的其他工藝制造應(yīng)用包括晶圓旋轉(zhuǎn)和速度、晶圓對準(zhǔn)（錯位）和工藝故障操作條件。
產(chǎn)品特點(diǎn)
半導(dǎo)體晶片溫度測量
非接觸式紅外溫度計
自動測量溫度和發(fā)射率
溫度范圍：250°C–1500°C
溫度精度：±3°C
6種可用光譜波長：808、850、905、940、，
980和1550nm
數(shù)據(jù)采集速率達(dá)到1ms
數(shù)字RS232 PC接口
每秒向主機(jī)輸出70個讀數(shù)
目標(biāo)光斑尺寸0.25英寸及以上
光纖傳感器溫度測量
其他工藝應(yīng)用包括晶圓旋轉(zhuǎn)
速度和工藝操作故障條件
產(chǎn)品應(yīng)用
?半導(dǎo)體晶片溫度測量
?提高晶圓制造和制造的經(jīng)濟(jì)性和質(zhì)量控制
?晶圓的生產(chǎn)、研發(fā)
?監(jiān)測生長速率和層厚度
?外延生長的溫度測量：
CVD反應(yīng)器
MBE反應(yīng)堆
MOCVD反應(yīng)器
?鏡面目標(biāo)和襯底
?工藝故障條件，包括晶圓旋轉(zhuǎn)、速度、對準(zhǔn)和定位優(yōu)勢
?測量層生長過程中快速變化的發(fā)射率，提供準(zhǔn)確的溫度測定
?基于目標(biāo)材料特性的波段選擇
?可現(xiàn)場校準(zhǔn)發(fā)射率通道
?快速響應(yīng)時間兼容的基板
?硅?碳化硅?氮化硅?砷化銦?砷化鎵?氮化鎵
?磷化銦?鍺?高度拋光金屬
電話：86 0755 86216601
傳真：86 0755 86216602
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